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    EH系列

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    我公司為客戶量身設計單臺真空設備和系統工程,并提供詳細的售前技術咨詢,售中技術支持,售后技術服務

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    概述

    防爆型機械增壓泵已經過鑒定,可以在潛在易爆氣體環境中使用。
    EH250C 機械增壓泵已經過鑒定,可用于 CSA Division 1 區域、氣體 Class I、Group C D 和灰塵 Class II Group F G、溫度 Class T3C。泵的溫度分類基于在零流量、低于 10 mbar (1 x 103 Pa) 的臨界前級壓力下保持的泵出氣口壓力。
    防爆型機械增壓泵可能配備防爆型電機,或作為防爆型系統的一部分供貨。請咨詢 Edwards。

    技術數據

    容積(工作容積)
    50Hz310 m3h-1/185 ft3min-1
    60Hz375 m3h-1/220 ft3min-1
    使用后備泵時的有效抽取速度
    E1M40 或 E2M40240 m3h-1/141 ft3min-1
    E1M80 或 E2M80274 m3h-1/161 ft3min-1
    泵的壓差
    50Hz0-180 mbar/0-140 Torr
    60Hz0-150 mbar/0-115 Torr
    入口連接ISO63
    出口連接ISO40
    轉速 ?
    50Hz0-2900 rpm
    60Hz0-3500 rpm
    連續入口操作壓力0-1000 mbar/0-760 Torr
    較大出口壓力1000 mbar/760 Torr
    推薦的后備泵GV80,E1M/E2M40,E1M/E2M80
    電源電壓,3 相
    50Hz220 – 240V/380 – 415V
    60Hz230V/460V
    馬達功率
    碳氫化合物2.2kW/3hp
    PFPE2.2kW/3hp
    ATEX2.2kW
    防爆型3 相
    環境溫度范圍
    操作5 至 40°C/40 至 104°F
    存儲-10 至 80°C/14 至 176°F
    較大操作濕度90% RH
    推薦用油
    標準型Ultragrade 20
    PFPE 版本Fomblin YVAC 16/6
    油容量
    聯結器箱1.5 升/1.6 qt
    軸桿封口儲油器0.125 升
    重量*69 kg/152 lb

    功能和優勢

    • 適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的應用場合。
    • 它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。
    • EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:
      • 安靜的無振動運行。
      • 牢靠且防腐蝕。
      • 先進的軸封技術,處理艙中不會出現油污染
    • 防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
    • 經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到較低。
    • 軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要較高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。
    • 動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

    • 應用

      • 半導體制程
      • 真空蒸餾
      • 真空包裝
      • 鋼脫氣
      • 薄膜覆層
      • 真空冶金
      • 低密度風洞
      • 空間模擬
      • 真空浸漬
      • 油干燥和脫氣
      • 制藥冷凍干燥
      • CO2 激光


    應用案例 Application

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